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By jeanmichel.theriault - Posted on 13 février 2012

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Zeiss EVO 50

Zeiss EVO® 50 smart SEM

  • Cathode au Tungsten
  • Tension d’acceleration: 0,2 – 30 kV
  • Résolution : 3 nm à 30 kV
  • Magnification: 100 x – 60000 x
  • Chambre: 365 mm (Ø) X 255 mm (h) 
  • Platine compucentrique motorisée 5-axes permettant des déplacements importants :
    • X = 0 à 100 mm
    • Y = 0 à 125 mm
    • Z = 0 à 35 mm
    • T = -1º à 90º
    • R = 360 º
  • Résolution maximale des images : 2048 x 1536 pixel
  • Détecteurs:
    • SE: Everhart-Thornley Secondary Electron Detector 
    • 4Q-BSE: 4 Quadrant Backscattered Detector
    • VPSE: variable pressure secondary electron;
    • EDS Microanalysis System: Oxford Instruments, INCAx-sight EDS Detectors. Ce détecteur est muni d’une diode silicium dopée au lithium Si(Li), qui, associée à un analyseur multicanal, fait un classement des photons X en fonction de leur énergie. 
  • Performance du détecteur EDS :
    • Éléments détectables : Béryllium (z = 4) à l’Uranium (z = 92);
    • Temps d’acquisition d’un spectre : 20-100 s;
    • Résolution sur Mn-Kα : 127 à 135 eV;
    • Limite de détection : 1000 ppm;
    • Sensibilité : 10000 cps;
    • Refroidissement : 77 K (N2 liq).