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By jeanmichel.theriault - Posted on 13 février 2012

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Afin de travailler dans de bonnes conditions, seuls sont accepter les échantillons exempts de toute eau, de solvants ou d'autres matériaux qui pourraient se vaporiser une fois le vide atteint.

 

  • Ce MEB peut fonctionner en pression contrôlée (variable pressure) pour l’observation dans un vide allant de 10-400 Pa. Ceci permet l’observation d’échantillon sans métallisation préalable;
  • Si nécessaire, les échantillons non-conducteurs sont enduits d’une fine couche d’or (20-30 nm) où de carbone de sorte qu'ils soient électriquement conducteurs.
    • L’or est appliqué par pulvérisation cathodique en utiliant un SPITM Sputter Coater Module.
    • Le carbone est appliqué par évaporation en utilisant un SPITM Carbon Coater System.

 

Observation en électrons secondaire (topographie)

  • Les échantillons solides sont montés sur des plots en aluminium de 12,7 mm ou 25,4 mm de diamètre à l’aide de pastille de carbone adhésives double-faces, puis placés sur un carrousel pouvant contenir jusqu’à 8 échantillons.

 

Observation en électrons rétrodiffusés (contraste de phase)

  • L’idéal est d’analyser des échantillons en lames minces polies, mais il est possible d’analyser de la poudre, des grains et divers autres échantillons conducteurs ou non;
  • En ce qui concerne les lames minces, deux types de supports sont disponibles : un support individuel et un support huit lames.