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By jeanmichel.theriault - Posted on 13 février 2012

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Caractéristiques du microscope électronique à balayage de l'INRS-ETE :


Le microscope électronique à balayage « Zeiss EVO® 50 smart SEM » (MEB) permet d’obtenir des images de surfaces de pratiquement tous les matériaux solides, à des grossissements allant de 100 X à 60 000 X et une grande profondeur de champs.


L’instrument est équipé d’une large gamme de détecteur qui lui confère une grande polyvalence d’analyse, soit :

  • L’imagerie par détection des électrons secondaires (SE): les images obtenues représentent essentiellement la topographie de l’échantillon.
  • L’imagerie par détection des électrons rétrodiffusés (BSE): cette technique permet d’obtenir une image des densités atomiques des phases présentes dans l’échantillon par contraste chimique. Elle est couramment utilisée pour distinguer des éléments lourds (possédant un numéro atomique élevé) et pour la granulométrie.
  • L’imagerie par la détection des électrons secondaires en pression variable (VPSE): l’une des particularités de cet appareil est qu’il peut travailler sur n’importe quel échantillon sec (conducteur ou non) sans traitement préalable, en ajustant la pression de la chambre dans laquelle on place l'échantillon à observer.
  • La microanalyse élémentaire par spectrométrie X à dispersion d’énergie (EDS) permet l’analyse ponctuelle de la composition chimique élémentaire d'un très petit objet et l’affichage de la distribution des éléments par cartographie.